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      在微納加工技術中，目前廣泛使用的是基于光刻工藝對材料或原料進行微細加工，制作成所需的微納結構或器件。在這一過程中，光刻膠為非常關鍵的材料。西湖大學仇旻研究團隊把光刻膠替換成冰，改稱之為“冰膠”，并將使用“冰膠”替代光刻膠完成微納加工的電子束光刻工藝改稱為“冰刻”。日前，他們在《納米快報》《納米尺度》《應用表面科學》等期刊上連續(xù)發(fā)表一系列研究成果，對小到微米甚至納米級別的“冰雕”游刃有余，從精確定位到精準控制雕刻力度，再到以“冰雕”為模具制作結構、加工器件，一套以“原料進、成品出”為目標的“冰刻2.0”三維微納加工系統(tǒng)雛形初現(xiàn)。