光刻機是芯片制造的核心設(shè)備之一，其工作原理如圖所示。下列說法正確的是（　?。?br />①縮圖透鏡是凸透鏡，晶圓相當于光屏；
②掩膜在晶圓上的像是正立縮小的虛像；
③要想晶圓上的像變小，需將掩膜和晶圓向上移動；
④將掩膜和晶圓向下移動相同距離，晶圓上還能成清晰的像。